RADIATION GENERATION BY MEANS OF LASER RADIATION OF A FREE DROPLET TARGET

摘要

Ein Verfahren zur Bereitstellung eines Tröpfchentargets (1), das für eine Strahlungserzeugung mittels Laserbestrahlung vorgesehen ist, in einer Vakuumeinrichtung (100) umfasst die Schritte Einführung eines ersten Fluidtropfens (2) in die Vakuumeinrichtung (100), Einführung mindestens eines weiteren Fluidtropfens (4, 6) in die Vakuumeinrichtung (100) und Bildung des Tröpfchentargets (1) durch mindestens eine Kollision des ersten Fluidtropfens (2) und des mindestens einen weiteren Fluidtropfens (4). Es werden auch ein Verfahren zur Strahlungserzeugung, insbesondere von elektromagnetischer Strahlung oder Teilchenstrahlen, mittels Laserbestrahlung des Tröpfchentargets (1) und eine Strahlungsquelle (200) beschrieben, die zur Strahlungserzeugung mittels Laserbestrahlung des Tröpfchentargets (1) eingerichtet ist.