目视确认装置和检查系统

摘要

一种目视确认装置和检查系统，通过提供适宜操作者检查基板缺陷的照明，能提高操作者确认缺陷时的作业效率。在目视确认装置的控制部设置照明控制部(486)。在照明控制部(486)设置方向确定部(486a)和光量确定部(486b)。将照明机构(46)制成为环状配置多个光源的分割环形照明。方向确定部(486a)和光量确定部(486b)根据作为有关缺陷的信息的缺陷数据(100)确定照明方向和照明光量。照明控制部(486)通过选择照明机构(46)的多个光源中点亮的光源来控制照明机构(46)，使得成为方向确定部(486a)确定的照明方向。控制照明机构，使点亮的光源的光量成为光量确定部(486b)确定的照明光量。

主权项

1. 一种目视确认装置，用于辅助操作者执行确认基板上的缺陷处的作业，其特征在于，具有：保持上述基板的保持装置，照明装置，其向被上述保持装置保持的上述基板照射照明光，信息获取装置，其获取对于每个上述基板分别生成的缺陷数据，其中，该缺陷数据含有存在于上述基板上的一个或多个缺陷相关的信息，照明控制装置，其根据由上述信息获取装置获取的上述缺陷数据来控制上述照明装置，提供装置，其将被上述照明装置照明了的状态的上述基板的缺陷的像提供给上述操作者；上述照明控制装置通过执行下述(a)～(c)三个步骤，来对存在于上述基板上的成为确认对象的缺陷进行照明，这三个步骤是：(a)在上述信息获取装置所获取的上述缺陷数据所含的缺陷相关的信息中，获取成为确认对象的缺陷相关的信息，作为对象缺陷信息，(b)根据所获取的上述对象缺陷信息，确定上述照明光的照射光量和照射方向作为基准信息，(c)并且根据上述照明光的上述基准信息，控制上述照明装置实现所确定的照射光量和照射方向。