垂直轴线从动测试头机械手配重平衡的对接运动

摘要

一个定位器，例如半导体晶片和装置测试机的测试头载体，包括一个垂直支承和一个支承该测试头的主臂。利用诸如配重一类的平衡力，使主臂悬浮，以便进行微调运动。主臂的悬浮是在一定的传动比下达到的，因此，可利用小的平衡力和配重的大运动来进行微调运动。垂直支承可用不顺从的驱动装置，例如滚珠丝杠机构，来调整。还可以利用微调运动来感测碰撞和其他定位错误，并可以控制垂直支承的驱动装置的工作。

主权项

1. 一种支承负载的设备，该设备包括：一驱动机构，用于通过提供一作用力源，在一方向上驱动所述负载的第一位置调整；和一结合机构，其响应于所述第一位置调整移动所述结合机构，用于将所述驱动机构结合到所述负载，所述结合机构传递来自另一个作用力源的另一个力，以进行所述负载在所述方向上的第二位置调整。