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发明名称 FEOL/MEOL METAL RESISTOR FOR HIGH END CMOS
摘要
申请公布号 EP1794778(A4) 申请公布日期 2009.06.03
申请号 EP20050779566 申请日期 2005.08.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHINTHAKINDI, ANIL, K.;COOLBAUGH, DOUGLAS, D.;RAMACHANDRAN, VIDHYA;RASSEL, ROBERT, M.
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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