发明名称 |
图像感测装置及其制作方法 |
摘要 |
一种图像感测装置,包括一基底、至少一光学元件、至少一介电层以及至少一波导管设于该光学元件上方,该波导管的侧壁设有一光学屏障层并有一填充层镶嵌于该波导管,因此可有效缩短光径、聚集光线、避免不同光路间的跨越现象以提升该图像感测装置的灵敏度。 |
申请公布号 |
CN100495715C |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
申请号 |
CN200610121867.8 |
申请日期 |
2006.08.25 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
柯登渊;彭念祖;陈坤助 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;G02B6/12(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1. 一种图像感测装置,其包括有:基底,包括至少一光学元件;至少一介电层设于该基底上且该介电层具有折射率n1;至少一波导管设于该介电层中,该波导管的侧壁具有平直表面且该波导管对应该光学元件并与该光学元件相距预定距离,而该波导管包括:填充层,镶嵌于该介电层内,该填充层具有折射率n2;以及光学屏障层,设于该填充层的侧壁,该光学屏障层具有折射率n3,且该填充层的该折射率n2大于该光学屏障层的该折射率n3,其中该波导管具有凹型底面。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |