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发明名称
Ion implantation ion source
摘要
<p>A multi-mode ion source comprises an ion source incorporating an ionization chamber for ionizing gas species and configured to have at least two discrete modes of operation, namely, an discharge mode, and a non-arc discharge mode. </p>
申请公布号
EP1538655(A3)
申请公布日期
2009.06.03
申请号
EP20050001136
申请日期
2000.12.13
申请人
SEMEQUIP, INC.
发明人
HORSKY, THOMAS N.;WILLIAMS,JOHN N.
分类号
H01J37/08;H01J37/317
主分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
主权项
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