| 发明名称 | 电弧蒸发源及真空蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够恰当回收从真空电弧放电的阴极放出的蒸发物质的电弧蒸发源和真空蒸镀装置。电弧蒸发源(100)形成如下所述结构，即具备保持间隙(G)相互对置的第1和第2电极(14A、14B)，以第1和第2电极(14A、14B)中的至少任意一个电极作为阴极，基于阴极与所述以及之间发生的真空电弧放电，第1和第2电极(14A、14B)中的另一个电极能够回收从阴极放出的蒸发物质。 | ||
| 申请公布号 | CN101448969A | 申请公布日期 | 2009.06.03 |
| 申请号 | CN200680054700.2 | 申请日期 | 2006.06.22 |
| 申请人 | 新明和工业株式会社 | 发明人 | 小泉康浩;能势功一 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 衷诚宣 |
| 主权项 | 1. 一种电弧蒸发源，其特征在于，形成如下所述结构，即具备保持间隙相互对置的第1电极和第2电极，以所述第1电极和第2电极中的至少任意一个电极作为阴极，基于所述阴极与阳极之间发生的真空电弧放电，所述第1电极和第2电极中的另一个电极能够回收从所述阴极放出的蒸发物质。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||