| 发明名称 | 管靶的磁分路 | ||
| 摘要 | 本发明涉及管靶的磁分路，尤其是涉及这样一种溅射靶，其具有载体和设置在载体上的靶材，其中，载体具有背对靶材的后表面、而靶材具有背对载体的前表面，并且在前表面和后表面之间存在铁磁性材料。该靶表现出均匀的损耗行为，而且，即使对于制造起来相对复杂的管状结构而言，也可以在无需消极地改变管结构本身的条件下改善损耗行为。 | ||
| 申请公布号 | CN101445914A | 申请公布日期 | 2009.06.03 |
| 申请号 | CN200810179239.4 | 申请日期 | 2008.12.01 |
| 申请人 | W.C.贺利氏有限公司 | 发明人 | H·-J·帕维尔;J·海因德尔 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁业平;张天舒 |
| 主权项 | 1. 一种溅射靶，其包括载体和设置在所述载体上的靶材，其中，所述载体具有背对所述靶材的后表面、而所述靶材具有背对所述载体的前表面，其中，在所述前表面和所述后表面之间设置有铁磁性材料，其特征在于，所述铁磁性材料的厚度沿所述载体的最大长度连续且平稳地变化。 | ||
| 地址 | 德国哈瑙市 | ||