具有各向异性被钉扎层的磁致电阻传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及具有磁各向异性被钉扎层结构的磁致电阻传感器及其制造方法。该被钉扎层结构形成在籽层之上，所述籽层具有一表面，该表面被处理从而使所述籽层的该表面具有各向异性粗糙度特征。所述各向异性粗糙度在被钉扎层中引起磁各向异性。所述被处理的籽层还允许被钉扎层维持稳定的钉扎而不需要厚AFM层，从而减小间隙尺寸。

主权项

1. 一种磁致电阻传感器，包括：衬底；籽层，形成在所述衬底上，所述籽层具有配置以各向异性粗糙度的表面；磁被钉扎层结构，形成在所述籽层的所述表面上；磁自由层；以及间隔层，夹在所述自由层和所述被钉扎层结构之间。