空心阴极离子渗金属装置

摘要

本发明公开了一种空心阴极离子渗金属装置，它包括真空渗金属室，与渗金属室相连接的充气管路和抽真空机组，位于渗金属室的阳极板、装有渗金属材料的阴极筒、工件；直流偏压电源和空心阴极放电电源；其特征在于：渗金属材料与工件相互分离，渗金属材料和阴极筒作为第一阴极，工件作为第二阴极，阳极板位于第一阴极的一端或两端与第一阴极相对应的位置，阳极板与第一阴极组成独立工作的空心阴极组件。大截面筒管工件，其内腔作为渗金属室。该装置结构简单，被渗工件与渗入材料两者电位能单独调节，用于各种尺寸的机械零件及钢板、钢管工件的渗金属。

主权项

1、一种空心阴极离子渗金属装置，包括真空的渗金属室，与渗金属室相连接的充气管路和抽真空机组，位于渗金属室内的阳极板、阴极、工件，直流偏压电源和空心阴极放电电源；其特征在于：所述阴极是装有渗金属材料的阴极筒(2)；所述渗金属材料是挂在所述阴极筒(2)上的螺旋状金属丝，或是挂在所述阴极筒(2)上的圆管材料或插在螺旋状金属丝中间的柱形、条形材料；所述渗金属材料与所述工件(3)相互分离，所述渗金属材料和所述阴极筒(2)作为第一阴极，所述工件(3)作为第二阴极，阳极板(1)位于所述第一阴极(2)的一端或两端与所述第一阴极(2)相对应的位置，所述阳极板(1)与所述第一阴极(2)组成独立工作的空心阴极组件，所述直流偏压电源(5)的负极与所述第二阴极(3)相接，所述空心阴极放电电源(6)的负极与所述第一阴极(2)相接，所述直流偏压电源(5)的正极和所述空心阴极放电电源(6)的正极均与所述阳极板(1)相连接。