基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置

摘要

一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置，包括一单色发光二极管的面光源，自该单色发光二极管面光源沿光路依次是散射板、第一分光板、标准样板和待检测元件，在所述的第一分光板由标准镜的返回光的反射光路上，依次是第二分光板、物镜和光电探测器，在所述的第二分光板的反射光路上有观察窗口。本发明的测量结果既可人工识别，又可通过计算机进行判读。本发明装置具有装置轻便、节能、成本低廉、应用广泛、可批量生成等特点，能方便地应用于批量的光学加工过程中的质量控制。

主权项

1、一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置，其特征在于包括一单色发光二极管的面光源(9)，自该单色发光二极管面光源(9)沿光路依次是散射板(10)、第一分光板(11)、标准样板(12)和待测元件(13)，在所述的第一分光板(11)由标准样板(12)的返回光的反射光路上，依次是第二分光板(17)、物镜(14)和光电探测器(15)，在所述的第二分光板(17)的反射光路上有观察窗口(16)。