发明名称 Interferometeranordnung und Verfahren zu deren Betrieb
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Interferometeranordnung und ein Verfahren zu deren Betrieb. Die Interferometeranordnung umfasst ein Interferometer mit einer Interferometer-Lichtquelle, deren emittierte Strahlung in einen Mess- und einen Referenzarm aufteilbar ist, wobei ein Messobjekt im Messarm angeordnet ist und das Interferometer von der Position des Messobjekts abhängige Interferometersignale liefert. Ferner sind Erfassungsmittel zur Erfassung von Fluktuationen des Brechungsindexes der Luft im Mess- und/oder Referenzarm vorgesehen. Hierbei umfassen die Erfassungsmittel eine Spektrometereinheit; die Spektrometereinheit weist mindestens eine Spektrometer-Lichtquelle sowie mindestens eine Spektrometer-Detektoreinheit auf. Die von der Spektrometer-Lichtquelle emittierten Strahlenbündel werden den Strahlenbündeln der Interferometer-Lichtquelle überlagert, wobei die Spektrometer-Lichtquelle Strahlung mit einer Wellenlänge emittiert, die im Bereich einer Absorptionslinie mindestens eines bestimmten Luftbestandteils liegt. Die Spektrometer-Detektoreinheit dient zur Erzeugung von Spektrometersignalen, die die Absorption des Luftbestandteils bzgl. der Spektrometer-Lichtquellenwellenlänge im Mess- und/oder Referenzarm charakterisieren (Figur 2a).
申请公布号 DE102007055665(A1) 申请公布日期 2009.05.28
申请号 DE20071055665 申请日期 2007.11.21
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 HOLZAPFEL, WOLFGANG
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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