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Beschrieben wird eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Strahlformung eines homogenisierten Lichtstrahls, insbesondere eines Laserstrahls, mit einer den Lichtstrahl zumindest längs einer Querschnittsachse des Lichtstrahls homogenisierenden Einheit, einer im Strahlengang des Lichtstrahls nachfolgenden Maske, die für den Lichtstrahl blockierende und transparente Maskenbereiche aufweist, sowie einer im Strahlengang nachfolgenden optischen Abbildungseinheit. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass im Strahlengang zwischen der homogenisierenden Einheit und der Maske ein optisches Modul vorgesehen ist, das den gesamten Querschnitt des homogenisierten Lichtstrahls weitgehend verlustfrei auf einen transparenten Maskenbereich oder mehrere transparente Maskenbereiche abbildet.
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