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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE69940737(D1) 申请公布日期 2009.05.28
申请号 DE19996040737 申请日期 1999.06.29
申请人 SHARP K.K. 发明人 IWATA, HIROSHI;KAKIMOTO, SEIZO;NAKANO;ADACHI, KOUICHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/84;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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