| 摘要 |
Es wird eine optische Positionsmesseinrichtung angegeben, die zur Bestimmung der Relativposition zweier in einer Messrichtung (x) zueinander beweglicher Objekte dient, wobei an mindestens einer definierten Referenzposition ein Referenzimpulssignal erzeugbar ist. Die Positionsmesseinrichtung umfasst einen Maßstab, der mit einem der beiden Objekte verbunden ist und der an der Referenzposition eine Referenzmarkierung aufweist, die aus einer Vielzahl in Messrichtung aperiodisch angeordneter Teilbereiche mit unterschiedlichen optischen Eigenschaften besteht. In Messrichtung sind benachbart zur Referenzmarkierung jeweils Zusatzstrukturen angeordnet, die sich in Messrichtung erstrecken und die Nebenmaxima im resultierenden Referenzimpulssignal minimieren. Ferner umfasst die Positionsmesseinrichtung eine gegenüber dem Maßstab in Messrichtung bewegliche Abtasteinheit, die mit dem anderen Objekt verbunden ist, mit einer Lichtquelle und einer Referenzimpuls-Detektoranordnung, bestehend aus einzelnen Detektorelementen, deren geometrische Anordnung zur Erzeugung eines Referenzimpulssignals auf die Referenzmarkierung abgestimmt ist. Die Zusatzstrukturen umfassen mindestens zwei Spuren mit einer ersten optischen Eigenschaft, zwischen denen ein sich in Messrichtung erstreckender Teilbereich mit einer zweiten optischen Eigenschaft angeordnet ist (Figur 2b). |
