Vorrichtung zur Positionsmessung mindestens einer Struktur auf einem Substrat

摘要

Es ist eine Vorrichtung zur Positionsmessung mindestens einer Struktur (3) auf einem Substrat (2) offenbart. In einem Spiegelkörper (20a) liegt das zu vermessende Substrat (2). Eine flächige Einlage (38) ist im Spiegelkörper (20a) vorgesehen, die derart beschaffen ist, dass unabhängig von der mechanischen Dicke des Substrats (2) für das Substrat (2) und die Einlage (38) zusammen immer die gleiche optische Dicke vorliegt.