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发明名称 BELICHTUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE602004020634(D1) 申请公布日期 2009.05.28
申请号 DE200460020634T 申请日期 2004.08.05
申请人 NIKON CORP. 发明人 SHIBAZAKI, YUICHI
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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