| 发明名称 | 液晶显示器件的制造方法 | ||
| 摘要 | 液晶显示器件的制造方法。一种用于形成图形的方法，包括：在印刷辊上形成抗蚀剂图形；利用印刷辊在一个基板上形成的刻蚀对象层上印刷多台阶抗蚀剂图形；以及通过利用所印刷的抗蚀剂图形作为掩模来刻蚀该刻蚀对象层。 | ||
| 申请公布号 | CN100492171C | 申请公布日期 | 2009.05.27 |
| 申请号 | CN03141010.3 | 申请日期 | 2003.05.23 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 白明基;赵容振;朴权植 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 辉 |
| 主权项 | 1. 一种用于制造液晶显示器件的方法，包括：在基板上形成栅极；在基板的整个表面上顺序淀积绝缘层、半导体层和金属层；使用印刷辊在金属层上形成第一抗蚀剂图形，该抗蚀剂图形具有第一区域和两个分别位于第一区域两侧的第二区域，第一区域的第一厚度小于第二区域的第二厚度；通过使用第一抗蚀剂图形把金属层刻蚀成金属图形；除去第一抗蚀剂图形的第一区域；使用剩余的第一抗蚀剂图形刻蚀该金属图形以形成源极和漏极；在源极和漏极上形成钝化层；以及在钝化层上形成像素电极。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||