阶梯形薄膜体声波滤波器

摘要

一种阶梯形滤波器，包括多个体声波谐振器，该谐振器包括串连在滤波器的输入端和输出端之间的多个串联谐振器，以及每一个都连接在两个串联谐振器的节点和公共端之间的一个或者多个并联谐振器，该串联谐振器包括一个连接到输入端的输入串联谐振器和一个连接到输出端的输出串联谐振器，并且其中将并联谐振器设计为满足单位纵横比，且其中将串联谐振器设计为满足不同于单位纵横比的纵横比。纵横比定义为谐振器的长度和宽度的比。

主权项

1、一种阶梯形滤波器，包括多个体声波谐振器，每个体声波谐振器在下电极和上电极之间至少包括一个压电层，该多个谐振器在一个或者多个滤波器部分中包括串联在滤波器的输入端和输出端之间的多个串联谐振器，以及每一个都连接在两个串联谐振器的节点和公共端之间的一个或者多个并联谐振器，该串联谐振器包括一个连接到输入端的输入串联谐振器和一个连接到输出端的输出串联谐振器，并且其中将并联谐振器设计为满足单位纵横比，且其中将串联谐振器设计为满足不同于单位纵横比的纵横比；其中将谐振器的输入端、输出端、上电极和公共端一起布置在具有谐振器的所需宽度和长度以及终端尺寸的第一金属化图案中，并且将谐振器的下电极布置在交错扇形的第二金属化图案中，通过第一和第二金属化的相应重叠定义谐振器区域；其中在公共端设有用于增加并联谐振器边缘长度的比例的孔；以及其中串联谐振器宽度Wseries是并联谐振器宽度Wshunt的2/3，且串联谐振器长度1series是并联谐振器宽度Wshunt的1.5倍。