发明名称 高结晶品质的合成金刚石
摘要 本发明涉及单晶CVD金刚石材料,其中在大于0.014cm<sup>2</sup>的面积上由X-射线形貌术表征的扩展缺陷密度小于400/cm<sup>2</sup>。本发明还涉及制备根据前述权利要求中任一项的CVD单晶金刚石材料的方法,该方法包括选择在其上生长CVD单晶金刚石的衬底的步骤,其中该衬底具备下面中的至少一项:在大于0.014cm<sup>2</sup>的面积上由X-射线形貌术表征的扩展缺陷密度小于400/cm<sup>2</sup>;在大于0.1mm<sup>3</sup>的体积上光学各向同性小于1×10<sup>-5</sup>;和对于(004)反射的FWHM X-射线摇摆曲线宽度小于20弧秒。
申请公布号 CN101443476A 申请公布日期 2009.05.27
申请号 CN200680050560.1 申请日期 2006.12.08
申请人 六号元素技术(控股)公司 发明人 D·J·特维切;G·C·萨默顿;I·弗里尔;J·O·汉森;K·B·盖;M·P·高克罗吉;P·M·玛丁内奥;R·C·伯恩斯;S·C·罗森;T·P·G·艾迪森
分类号 C23C16/27(2006.01)I;C30B25/20(2006.01)I;C30B29/04(2006.01)I;C30B25/02(2006.01)I 主分类号 C23C16/27(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 李 帆
主权项 1. 单晶CVD金刚石材料,其中在大于0.014cm2的面积上以X-射线形貌术表征的扩展缺陷密度小于400/cm2。
地址 南非斯普林斯