| 摘要 |
1. Способ изготовления наноразмерных металлических мембран, заключающийся в том, что на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, последовательно напыляют два слоя материалов с различными коэффициентами распыления, растворяют ацетатную подложку и производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий, отличающийся тем, что после получения мембраны на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой, например, слой углерода. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве напыляемых материалов с различными коэффициентами распыления используется золото, серебро и углерод. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление материалов на подложку производят путем термического испарения в вакууме соответствующих веществ. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление материалов на подложку производят путем катодного распыления мишеней из соответствующих материалов. ! 5.. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности потоком ионов аргона с энергией 3÷6 кэВ. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности плазменным потоком ионов ксенона с энергией 200÷300 эВ. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина укрепляющего слоя углерода составляет 100-200 нм. |
