发明名称 LASER THERMAL ANNEALING OF LIGHTLY DOPED SILICON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100899321(B1) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 KR20067006066 申请日期 2006.03.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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