| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING THIN FILM AND APPARATUS FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090053331(A) |
申请公布日期 |
2009.05.27 |
| 申请号 |
KR20070120137 |
申请日期 |
2007.11.23 |
| 申请人 |
SOSUL CO., LTD. |
发明人 |
KIM, GEUN HO;CHOI, DU HYUN |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/203;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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