表面处理装置及该装置的下部电极组装体的制造方法

摘要

本发明提供一种利用大气压等离子体的表面处理装置及在该装置的下部电极组装体的制造方法，其中，本发明的表面处理装置构成为结构要素的分解及组装容易的组装式，其容易进行如电极更换等维修，并通过调整容易拆装的隔离物的厚度，容易调整上部电极和下部电极之间的间隔，进而通过可直接或间接冷却上述上部电极及下部电极的冷却系统，可以有效冷却在上述上部电极及下部电极产生的热量，从而防止热化引起的损伤，使可能在上述上部电极及下部电极发生的电弧现象最小化。

主权项

1. 一种利用大气压等离子体的表面处理装置，其特征在于，包括：气室，用于收容由气体供给部供给的气体；中间板，配置于所述气室的下端，可拆装地连接于所述气室，设有多个气孔；支架，可拆装地连接于所述中间板；上部电极组装体，可拆装地连接于所述支架；下部电极组装体，在所述上部电极组装体的下部间隔规定距离而配置，通过与所述上部电极组装体的放电使所述气体变换为等离子体，并设有将变换后的等离子体向下部排出的多个等离子体排出孔；支持器，设有从内侧壁突出形成的用于支撑所述下部电极组装体的固定突起；和托架，可拆装地连接所述中间板和所述支持器，进行所述连接时，设在下端的台阶部挤压被所述固定突起支撑的所述下部电极组装体的上表面，从而将所述下部电极组装体支撑固定在所述支持器上。