一种投影光学系统

摘要

一种投影光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：一个光轴；一个凹面球面反射镜；一对棱镜，每一个棱镜都具有相应的第一和第二平面，第二平面与第一平正透镜的平面按照与光轴相反的方向紧密接触，而第一平面则分别朝向物方平面和像方平面；一个正透镜组，由一个平凸透镜和一个弯月透镜组成，凸面朝向反射镜；一个望远透镜组，由一个凹凸透镜，一个双凸透镜和一个双凹透镜组成；一个凹面反射镜，凹面朝向物方；本发明可以增加光刻机投影光学系统的工作距离，为工件台和掩模台提供较大的设计空间，另外可以进一步减小设备的体积。

主权项

1、一种投影光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：一个光轴；一个凹面球面反射镜；一组具有正光焦度的透镜组，与所述凹面球面反射镜间隔一定的距离；按照离反射镜从远到近的距离排列，其特征在于该透镜组包括：一对棱镜，每一个棱镜都具有相应的第一和第二平面，两个第一平面则分别朝向物方平面和像方平面；一个正透镜组，由一个平凸透镜和一个弯月透镜组成，所述平凸透镜的平面与所述棱镜的第二平面紧贴，凸面朝向反射镜；一个望远透镜组，由一个凹凸透镜，一个双凸透镜组成的正透镜和一个双凹负透镜组成，并按照离反射镜从远到近的距离排列。