用于高精度光刻技术的图形引擎

摘要

本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像，可用适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公开了重叠区、保护区的使用、将多边形移动和重新定大小、使用两个分辨率级来表示区域、定义边、定位边和角。

主权项

1. 一种将几何形状转换为用于在微镜阵列中的独立镜子的驱动电压的方法，包括：与来自工件的多个区域的重叠曝光的理想的能量贡献的图形相对应地，将所述工件映射到重叠区中；并行使用多个呈现引擎来将许多多边形呈现为灰度分级的像素值；在考虑到重叠区域的情况下，计算所述灰度分级像素值的曝光值；根据独立的微镜特征来勾画曝光值；向一个或多个镜子像素驱动器输出所勾画的曝光值。