电极组件以及包含该电极组件的等离子处理室

摘要

本发明大体上涉及等离子处理室以及用于其中的电极组件。根据一个实施例，电极组件包含热控板、硅基喷头电极以及包含导电的探针主体以及硅基盖的探针组件。该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部螺纹啮合的旋向性以及该热控板与该探针主体的中部螺纹啮合的旋向性具有共同的旋转方向。因此，对该硅基盖在紧固的旋转方向上施加扭矩使两个螺纹啮合变得紧固。进一步地，该电极组件如此配置，即该硅基盖与该探针主体头部的螺纹啮合允许该硅基盖与该探针主体重复非破坏性啮合和分开。

主权项

1. 一种电极组件，包含硅基喷头电极、热控板、以及探针组件，其中：该探针组件与该硅基喷头电极电气绝缘，且包含导电的探针主体以及硅基盖，该硅基盖由成分上与构成该硅基喷头电极的材料基本上相同的硅基材料构成；该热控板包含正面、背面、配置为引导工艺气体至该热控板的正面的一个或多个工艺气体通道以及配置为允许至少部分该导电的探针主体通过的板基探针组件通道；该硅基喷头电极包含正面、背面、从该硅基喷头电极的背面延伸至该硅基喷头电极的正面的多个喷头通道、以及配置为允许至少部分该导电探针主体通过并且容纳该探针组件的硅基盖于其中的电极基探针组件通道；该热控板与该硅基喷头电极啮合以便该热控板的正面面对该硅基喷头电极的背面，该硅基喷头电极内的至少一个喷头通道与该热控板内的至少一个工艺气体通道对齐，以及该电极基探针组件通道与该板基探针组件通道至少部分对齐；该导电探针主体包含头部，该头部包含配置为与该硅基盖的内螺纹配合的外螺纹，以便使该硅基盖与该探针主体可释放地啮合且允许该硅基盖与该探针主体重复非破坏性啮合与分开；该导电探针主体包含中部，该中部包含与板基探针组件通道的内螺纹匹配的外螺纹，以便使该热控板与该探针主体可释放地啮合；该导电探针主体包含具有电性耦合的尾部，配置为导电耦合至等离子监控装置；该电极组件如此配置，即使得该硅基盖与该探针主体头部螺纹啮合的旋向性以及该热控板与该探针主体中部螺纹啮合的旋向性为共同的旋转方向，从而在紧固旋转方向上施加于该硅基盖的扭矩能够紧固该硅基盖与该探针主体头部的螺纹啮合以及该热控板与该探针主体中部的螺纹啮合；以及该硅基喷头电极、该热控板、以及该探针组件如此配置，即当该硅基盖与该探针主体头部的螺纹啮合以及该热控板与该探针主体中部的螺纹啮合基本上完全啮合时，该硅基盖的基本上平的面与该硅基喷头电极的正面位于共同的平面。