| 发明名称 | VPE反应器的源容器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及VPE沉积设备的源装置，包括：含有液态或固态起始材料(1)并具有顶部开口的容器(2)；用于反应气体(4)的供应管线(3)，所述反应气体(4)与起始材料(1)反应以产生含有该起始材料的工艺气体(5)。本发明的目的是暂时稳定源反应。为此，盖子(6)直接放置在起始材料(1)上并且限定盖子和起始材料(1)的表面(7)之间的体积(8)，反应气体(4)流过所述体积并且供应管线(3)通向该体积。 | ||
| 申请公布号 | CN101443487A | 申请公布日期 | 2009.05.27 |
| 申请号 | CN200780017540.9 | 申请日期 | 2007.05.07 |
| 申请人 | 艾克斯特朗股份公司 | 发明人 | 沃尔特·弗兰肯;约翰尼斯·卡普勒 |
| 分类号 | C30B25/14(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 宋 莉 |
| 主权项 | 1、VPE沉积装置的源装置，包括：含有液态或固态起始材料(1)并具有顶部开口的容器(2)；用于反应气体(4)的供应管线(3)，所述反应气体(4)与起始材料(1)反应以产生含有该起始材料的工艺气体(5)；以及直接置于该起始材料(1)上的盖子(6)，其特征在于，所述盖子(6)在其本身和所述起始材料(1)的表面(7)之间限定了体积(8)，所述反应气体(4)可以平行于所述表面(7)流过该体积(8)，并且供应管线(3)通向该体积(8)。 | ||
| 地址 | 德国亚琛 | ||