基板清洗装置和方法

摘要

本发明提供基板清洗装置和方法，其特征在于，刷子相对于与基板移动方向垂直的方向倾斜配置，对基板进行清洗处理。按照所述的特征，可以提高基板的清洗效率，提高基板移动的安全性，并抑制清洗液向室外漏出。

主权项

1. 一种对基板进行清洗的基板清洗装置，其特征在于包括：工序室，提供进行清洗工序的空间；基板传送单元，设置在所述工序室内，使基板移动；以及刷式清洗单元，相对于与所述基板移动方向垂直的方向倾斜设置，并包括清洗所述基板的刷子。