| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE CERAMIC PLATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1120829(A4) |
申请公布日期 |
2009.05.27 |
| 申请号 |
EP19990961446 |
申请日期 |
1999.12.28 |
| 申请人 |
IBIDEN CO., LTD. |
发明人 |
ITO, YASUTAKA;HIRAMATSU, YASUJI |
| 分类号 |
H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/66;H01L23/13;G01R31/28 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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