微透镜阵列及其制造方法

摘要

本发明利用干刻蚀在透镜基底(16)上形成多个透镜部分(20、22)。该透镜部分(20、22)具有相同的结构，该透镜部分(20)包括在该基底(16)的一主表面和另一主表面上相互面对的曲面透镜表面(S1和S2)。假定从激光器激活层发出的激光光束在y轴方向上的截面在z轴方向上长，在x轴方向上窄，该透镜表面(S2)形成为在x轴方向上的曲率半径R₂₁比在y轴方向上的曲率半径R₂₂小，该透镜表面(S1)形成为在x轴方向上的曲率半径R₁₁比在y轴方向上的曲率半径R₁₂小。

主权项

1. 一种微透镜阵列，其包括：透镜基底；在所述透镜基底的一个主表面上形成的第一曲面透镜表面，在x轴方向上的曲率半径R11比在与所述x轴方向以直角相交的y轴方向上的曲率半径R12小，其中x轴方向为微透镜阵列的长度方向；以及在所述透镜基底的另一个主表面上形成的第二曲面透镜表面，在x轴方向上的曲率半径R21比在所述y轴方向上的曲率半径R22小，以及其中，从所述第一曲面透镜表面照射并从所述第二曲面透镜表面发出的光束射束腰部沿所述x轴方向形成在所述透镜基底上，并且所述光束沿所述y轴方向准直。