发明名称 A method for thin film vapor deposition of dialkyl amido dihydro aluminium compound
摘要
申请公布号 EP1788116(B1) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 EP20060023815 申请日期 2006.11.16
申请人 UP CHEMICAL CO., LTD. 发明人 SHIN, HYUN KOOCK;KIM, BUM SOO;KIM, JIN SIK;KIM, JUN YOUNG;KIM, YOUNG SEOP;CHO, BO YEARN
分类号 C23C16/20 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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