氮化镓基场效应管及其制备方法

摘要

本发明是关于一种氮化镓基场效应管及其制备方法。该场效应管包括正面管芯、衬底和背金结构，所述的衬底包括碳化硅衬底或蓝宝石衬底，所述的背金结构设置在衬底底面，该背金结构包括背金起镀层和电镀层，所述的背金起镀层是由钛金属层、钨金属层和金金属层构成的复合金属层，所述的钛金属层与所述的衬底接触。本发明采用氢氧化钠抛光液，对场效应管的衬底进行化学机械抛光，采用溅射钛/钨/金复合层金属的方法形成背金起镀层，利用钨的良好阻挡性能，钛/钨/金系统有效地阻挡金锡合金或金锡焊料在高温条件下向衬底渗透，有效地增强了背金结构在碳化硅衬底或蓝宝石衬底的粘附性。

主权项

1、一种氮化镓基场效应管，包括正面管芯、衬底和背金结构，所述的背金结构设置在衬底底面，该背金结构包括背金起镀层和电镀层，其特征在于：所述的背金起镀层是由钛金属层、钨金属层和金金属层构成的复合金属层，所述的钛金属层与所述的衬底接触。