一种基板快速冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种基板快速冷却装置，它包括设置在机架上的前、后输送装置，在前、后输送装置之间接有升降输送装置，在升降输送装置的下面设有水冷板，所述水冷板内部设有真空管路和水冷管路，真空管路与真空系统管道连接，水冷管路与水冷系统管道连接，水冷板的一面设有与真空管路相通的真空吸孔，另一面设有与水冷管路相通的进水口和出水口。本实用新型冷却速度快、冷却效果好、占地空间小。

主权项

1、一种基板快速冷却装置，包括设置在机架上的前、后输送装置(1、1’)，其特征在于：在前、后输送装置(1、1’)之间接有升降输送装置(2)，在升降输送装置(2)的下面设有水冷板(3)，所述水冷板(3)内部设有真空管路(31)和水冷管路(32)，真空管路(31)与真空系统(4)管道连接，水冷管路(32)与水冷系统(5)管道连接，水冷板(3)的一面设有与真空管路(31)相通的真空吸孔(33)，另一面设有与水冷管路(32)相通的进水口(34)和出水口(35)。