发明名称 ILLUMINATION UNIT AND TEST APPARATUS HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090053324(A) 申请公布日期 2009.05.27
申请号 KR20070120129 申请日期 2007.11.23
申请人 SECRON CO., LTD. 发明人 YANG, KEUN HWA;ROH, JIN HO
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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