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发明名称
ILLUMINATION UNIT AND TEST APPARATUS HAVING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20090053324(A)
申请公布日期
2009.05.27
申请号
KR20070120129
申请日期
2007.11.23
申请人
SECRON CO., LTD.
发明人
YANG, KEUN HWA;ROH, JIN HO
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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