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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING NANOWIRE TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR20090051827(A) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 KR20070118242 申请日期 2007.11.20
申请人 KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION 发明人 JU, BYEONG KWON;KWON, JAE HONG;JEONG, JIN WOOK;SEO, JUNG HOON;SHIN, SANG IL
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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