发明名称 ESTRUCTURA DE INTERCONEXION ROBUSTA.
摘要 A structure comprising a layer of copper, a barrier layer, a layer of AlCu, and a pad-limiting layer, wherein the layer of AlCu and barrier layer are interposed between the layer of copper and pad-limiting layer.
申请公布号 ES2320523(T3) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 ES20000931376T 申请日期 2000.05.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 EDELSTEIN, DANIEL;MCGAHAY, VINCENT;NYE, HENRY;OTTEY, BRIAN;PRICE, WILLIAM
分类号 H01L23/485;H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/532 主分类号 H01L23/485
代理机构 代理人
主权项
地址