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发明名称 APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSACTION
摘要
申请公布号 KR20090051982(A) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 KR20070118470 申请日期 2007.11.20
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KWON, OH JIN;KIM, TAE HO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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