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发明名称 MAGAZINE STAGE AND APPARATUS FOR PACKAGING A SUBSTRATE HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090051900(A) 申请公布日期 2009.05.25
申请号 KR20070118349 申请日期 2007.11.20
申请人 SECRON CO., LTD. 发明人 SHIN, SANG HO;CHOI, JIN JOO;KIM, DU HWAN
分类号 H01L23/28;H01L21/677 主分类号 H01L23/28
代理机构 代理人
主权项
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