METHOD AND UNIT FOR IGNITING AND MAINTAINING A PLASMA

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Zündung und Aufrechterhaltung eines Plasmas in einem Gasraum und eine entsprechende, als Resonator ausgebildete Einrichtung. Das Verfahren und die Einrichtung sind insbesondere geeignet zur Realisierung einer Plasma-Lichtquelle. Vorgeschlagen wird, dass als Plasmaerzeuger ein Plasmagefäß mit mindestens einem mit dem zu ionisierenden Gas gefüllten Hohlraum verwendet wird, welches selbst mindestens teilweise aus piezoelektrischem Material besteht oder bei dem mindestens ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper in den mindestens einen Hohlraum hineinragt, wobei das piezoelektrische Material durch eine äußere elektrische Anregung resonant in Schwingungen versetzt wird. Ein Plasmagefäß (1), das einen oder mehrere Hohlräume (2) enthält, die das zu ionisierende Gas enthalten, ist mindestens teilweise aus einem piezoelektrischen Material gefertigt oder es ragt ein aus piezoelektrischem Material bestehender Resonanzkörper (3) in mindestens einen Hohlraum (2) des Plasmagefäßes (1) hinein. Außen an dem piezoelektrischen Material sind Elektroden (4) angebracht.