发明名称 PROCEDE DE POLISSAGE D'HETEROSTRUCTURES
摘要
申请公布号 FR2912841(B1) 申请公布日期 2009.05.22
申请号 FR20070053284 申请日期 2007.02.15
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 MARTINEZ MURIEL;SEGUIN CORINNE;LOGIOU MORGANE
分类号 H01L21/762;H01L21/321 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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