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发明名称 CHEMICAL AND MECHANICAL APPARATUS FOR POLISHING
摘要
申请公布号 KR20090051641(A) 申请公布日期 2009.05.22
申请号 KR20070118123 申请日期 2007.11.19
申请人 INDUSTRY-ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION, CHOSUN UNIVERSITY 发明人 LEE, WOO SUN;CHOI, GWON WOO;PARK, SUNG WOO;SEO, YONG JIN
分类号 H01L21/304;B24B37/04;B24B37/26 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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