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发明名称 AUTOMATIC TEACHING APPARATUS OF WAFER TRANSFER ROBOT AND METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR20090051424(A) 申请公布日期 2009.05.22
申请号 KR20070117811 申请日期 2007.11.19
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 JUN, SANG EUN;KIM, DUK SIK
分类号 H01L21/68;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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