发明名称
摘要
申请公布号 JP2009520349(A) 申请公布日期 2009.05.21
申请号 JP20080545225 申请日期 2006.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/861;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/78 主分类号 H01L29/861
代理机构 代理人
主权项
地址