服务器装置及程序

摘要

以往，无法过滤利用产品晶片片数测定的信息来构成图表。利用本发明的服务器装置，可过滤用产品晶片片数测定的信息来构成图表，该服务器装置保存有多个测定信息，该测定信息是关于由多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和时刻信息的信息，其具备：指示接收部，接收包括产品晶片片数的图表的输出指示；异常检测部，在指示接收部接收到输出指示的情况下，读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合条件信息；输出信息构成部，构成与异常检测部的判断结果对应的输出信息；输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。

主权项

1. 一种服务器装置，其是构成组管理系统的服务器装置，该组管理系统具备对被处理基板进行规定的处理的多个制造装置、与该多个制造装置连接的服务器装置，并具有进行异常检测的功能，该服务器装置具备：测定信息保存部，可保存多个测定信息，该测定信息是关于由所述多个制造装置测定的信息的时间系列信息，是具有产品晶片片数和表示时刻的时刻信息的信息，所述产品晶片片数是由所述制造装置制造的产品的晶片片数；指示接收部，接收包括产品晶片片数条件的输出信息的输出指示，该产品晶片片数条件是与产品晶片片数相关的条件；条件信息保存部，保存有条件信息，该条件信息表示用于判断测定信息是否异常的条件；异常检测部，在所述指示接收部接收到输出指示的情况下，从所述测定信息保存部中读出符合该输出指示所包含的产品晶片片数条件的多个测定信息，判断所读出的该多个测定信息是否符合所述条件信息；输出信息构成部，构成与所述异常检测部的判断结果对应的输出信息；以及输出部，输出所述输出信息构成部所构成的输出信息。