Selbstadaptivität von Rasterelektronenmikroskopen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung eines Entscheidungskriteriums für die Zuordnung von Pixeln einer digitalisierten Aufnahme eines Elektronenmikroskops zu einem Objekt oder zum Hintergrund, bei welchem ein Filter mit Partikeln unterschiedlichen Materials in ein Rasterelektronenmikroskop eingelegt wird und Bilder von elektronischen Feldern des Filters mit einem Rasterelektronenmikroskop aufgenommen werden. Für alle Pixel aller aufgenommenen Bilder werden texturelle Merkmale berechnet. Im Merkmalsraum wird ein zu klassifizierender Punkt bestimmt und es werden Ursprungsbild und -pixel dieses Punkts identifiziert. Anhand eines EDX-Spektrums wird der Punkt im Merkmalsraum klassifiziert. Die gefundene Klassenzugehörigkeit und die bereits gefundenen Klassenzugehörigkeiten werden auf alles übrigen Punkte des Merkmalsraums propagiert. Die Bestimmung eines zu klassifizierenden Punktes, die Klassifikation des Punktes und die Propagation der Klassenzugehörigkeiten werden wiederholt, bis eine stabile Klassifikation erreicht ist oder eine maximale Anzahl an Iterationen durchgeführt wurde.