发明名称 |
电阻转换存储器及其制造方法 |
摘要 |
本发明揭示一种电阻转换存储器及其制造方法,该电阻转换存储器包括选通单元及数据存储单元;选通单元采用肖特基二极管;所述肖特基二极管包括至少一层含锑材料层、至少一层半导体层;数据存储单元包括至少一层含锑材料层。本发明存储器中含锑金属不仅作为电阻转换的存储介质,而且作为肖特基二极管中的金属层,甚至可以作为存储器芯片中的导电位线。本发明还提出了多种制造基于含锑金属(或合金)的电阻转换存储器的方法,有望在获得高密度、低成本的固态存储器的竞争中获得较大优势。 |
申请公布号 |
CN101436607A |
申请公布日期 |
2009.05.20 |
申请号 |
CN200810207813.2 |
申请日期 |
2008.12.25 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
张 挺;宋志棠;陈小刚;顾怡峰;刘 波;封松林;陈邦明 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I;G11C16/02(2006.01)I;G11C11/56(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 |
代理人 |
余明伟;冯 珺 |
主权项 |
1、一种电阻转换存储器,其特征在于,其包括:选通单元,该选通单元采用肖特基二极管;所述肖特基二极管包括至少一层含锑材料层、至少一层半导体层;数据存储单元,包括至少一层含锑材料层。 |
地址 |
200050上海市长宁区长宁路865号 |