在底材上沉积氧化锌涂层的方法

摘要

用于在移动玻璃底材上产生氧化锌涂层的方法，其提供二烷基锌化合物、含氧化合物和惰性载气的前体混合物。在大气压下，在线化学气相沉积法中将该前体混合物沿着玻璃底材的表面导入。该前体混合物在玻璃底材的表面反应形成氧化锌涂层，其基本上无氮，生长速度＞100/秒。

主权项

1.一种动态化学气相沉积法，用于在加热玻璃底材上沉积氧化锌涂层，其包括以下步骤：在大气压下提供移动的加热玻璃底材，该底材具有将在其上沉积涂层的主表面；和朝着并沿着待涂覆的表面导入包含二烷基锌化合物、无机含氧化合物和惰性载气的前体混合物，并在大气压下于所述底材表面处或其附近使该混合物起反应，目的是在玻璃底材表面上以>100/秒的生长速度形成氧化锌涂层。