发明名称 WET TREATMENT APPARATUS FOR LCD LCD GLASS OR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100898364(B1) 申请公布日期 2009.05.20
申请号 KR20070117137 申请日期 2007.11.16
申请人 NEO ENG CO., LTD. 发明人 CHO, HONG GEUN
分类号 H01L21/304;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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