| 发明名称 | 镀铜浴的配方 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种铜镀液的组合物，其可以沉淀出均匀且平滑的，具有优异外观的铜镀膜，即使所形成的铜镀膜较薄。该铜镀液组合物含有特定含量的氯化物离子和溴化物离子。 | ||
| 申请公布号 | CN101435094A | 申请公布日期 | 2009.05.20 |
| 申请号 | CN200810179910.5 | 申请日期 | 2008.08.08 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | 林慎二郎;泷口久范 |
| 分类号 | C25D3/38(2006.01)I | 主分类号 | C25D3/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 1. 一种铜镀液的组合物，所述组合物含有铜离子、电解质和氯化物复合离子和溴化物复合离子，以使镀铜液中所含的氯化物复合离子和溴化物复合离子的含量满足以下方程(1)，(2)和(3)。(Cl-30)/20<Br(130+Cl)/20(1)；50-Cl<10×Br(2)；10<Cl(3)其中Cl是铜镀液组合物中的氯化物复合离子的浓度，mg/l；Br是铜镀液组合物中的溴化物复合离子的浓度，mg/l。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||